奕葉探針座EB-005  200TPI 200nm

     重量較重，旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，身體影響效應(yīng)小探針駕馭感操控性佳，下針接觸應(yīng)力好調(diào)整，可應(yīng)付小目標(biāo)如的線路點(diǎn)針，直流及射頻，非平面的目標(biāo)等等…

    螺桿密度標(biāo)準(zhǔn)：100TPI螺桿牙的間矩500micron微米螺桿牙的間矩.精度700nm納米

    螺桿密度選配：200TPI螺桿牙的間矩250micron微米螺桿牙的間矩.精度200nm納米

規(guī)格：

    12x12x12 (mm) 行程

    100 or 200 TPI

    90 mm W x 130 mm D x 90 mm H

   1000 g

選擇探針座的注意事項(xiàng)

一、探針座

       奕葉探針座也就是micropositioner或micromanipulator是利用機(jī)構(gòu)的原理，將三個(gè)滑臺(tái)XYZ軸組成，每個(gè)滑臺(tái)利用旋鈕驅(qū)動(dòng)螺桿而達(dá)到滑臺(tái)的移動(dòng). 操作者使用三個(gè)旋鈕將已經(jīng)夾在探針座上探針針尖，先移動(dòng)XY軸到達(dá)想要的目標(biāo). 用Z軸將針尖降落之后，繼續(xù)用Z軸將針尖滑行以達(dá)到適當(dāng)?shù)南聣簯?yīng)力，讓它能穩(wěn)穩(wěn)地固定在哪里將元件的訊號(hào)送進(jìn)送出.因?yàn)獒樇馐莾x器跟元件的接口. 而探針是固定在探針座上，所以探針座的好壞影響整體電信量測的結(jié)果站極重要的角色.

       舉凡零件如滑軌，螺桿，螺帽等零件的加工技術(shù)要求甚高，此外三軸是堆疊組合的，組立技術(shù)也不容忽視，奕葉有接軌的生產(chǎn)線才可以維持好的質(zhì)量.

二、探針座為何要線性移動(dòng)？

        奕葉的探針座都是采取線性移動(dòng)，針尖可以預(yù)估未來的軌跡方向. 而非線性移動(dòng)探針座，即使目標(biāo)就在針尖的正前方，必須猜測針尖的移動(dòng)方向，除了X軸旋鈕的移動(dòng)外還必須隨時(shí)修正為Y軸的旋鈕. Z軸下針線性移動(dòng)，  X軸及Y軸也必須隨時(shí)備便修正. 下針之后滑針的下壓應(yīng)力與Z軸下降也呈現(xiàn)非線性關(guān)系下壓應(yīng)力無法有效控制，因?yàn)檫@個(gè)接觸應(yīng)力調(diào)整會(huì)影響到量測結(jié)果可靠性，再現(xiàn)性及耐久性.

三、探針座為何要無間隙(同步)移動(dòng)？ 

        那個(gè)間隙是來自于螺桿跟螺帽之間的搭配留有多余的空間，會(huì)造成旋鈕移動(dòng)時(shí)針尖會(huì)有停滯的現(xiàn)象，如果一個(gè)軸有間隙，兩個(gè)軸時(shí)會(huì)再放大，三個(gè)軸時(shí)再繼續(xù)放大

       這個(gè)間隙可以傳到針尖造成晃動(dòng)，造成針尖的到儀器的傳遞信號(hào)出現(xiàn)不穩(wěn)定，會(huì)影響到量測結(jié)果可靠性，再現(xiàn)性及耐久性.

l 可靠性：讓儀器呈現(xiàn)穩(wěn)定的信號(hào)，尤其在高速射頻量測（GHz）， 敏感的有機(jī)薄膜、更小及非平面目標(biāo).

l 再現(xiàn)性：量測信號(hào)由儀器給的來源信號(hào)，在量測結(jié)果的再現(xiàn)性表現(xiàn)較佳。

l 耐久性： 長時(shí)間測量它不會(huì)有電信號(hào)斷路的狀況發(fā)生，而造成信號(hào)接觸時(shí)有時(shí)沒有的困擾.

四、哪些應(yīng)用選擇奕葉的探針座會(huì)有較明顯的差異？

4.1、IC設(shè)計(jì)公司

       做的局部電路電性分析需要點(diǎn)到內(nèi)部線路上，下針的目標(biāo)尺寸變的較小，探針XY移動(dòng)步進(jìn)量切割要足夠小，目標(biāo)才能一次找到正確的位置，探針再往下壓滑行調(diào)整接觸應(yīng)力的距離也變得非常短。

4.2、半導(dǎo)體廠故障分析部

        做的局部電路要把故障的位置從線路上找出 ，下針的目標(biāo)尺寸變的較小，探針XY移動(dòng)步進(jìn)量切割要足夠小，目標(biāo)才能一次找到正確的位置，探針再往下壓滑行調(diào)整接觸應(yīng)力的距離也變得非常短。 如果下針偏壓不穩(wěn)的話，使用Emmission光發(fā)射后就不穏無法由光來尋找故障位置。 另在使用液晶轉(zhuǎn)相尋找故障位置時(shí)，面臨同樣的問題，偏壓不穏的話，轉(zhuǎn)相的位置時(shí)有時(shí)沒就無法找到故障的正確位置在哪里。

4.3、LCD廠

       如果要將偏壓加在一個(gè)像素的晶體管的尺寸3~5micron，因?yàn)槊娣e小還必須容許滑針以達(dá)到適當(dāng)接觸應(yīng)力。

4.4、有機(jī)薄膜制程的市場

4.5、如感知器、太陽能集光片及OLED

      除XY移動(dòng)找到目標(biāo)外，因探針還必須在有機(jī)薄膜上滑行到適當(dāng)?shù)慕佑|應(yīng)力，使敏感的有機(jī)薄膜不容易被刺穿，使偏壓送到真正有機(jī)薄膜。

4.6、MicroLED

      尺寸5 micron且結(jié)構(gòu)如bump球，

     因?yàn)樘结榅Y移動(dòng)步進(jìn)量較小，目標(biāo)物可一次找到正確的位置，除此之外探針還可再往下壓針在球面上滑行得到適當(dāng)?shù)慕佑|應(yīng)力。

4.7、mmW射頻市場

     量測速度快到每秒GHz，探針還必須在目標(biāo)滑行到適當(dāng)?shù)慕佑|應(yīng)力，針座零件彼此之間隙必須*消除，使探針接觸后針尖不會(huì)晃動(dòng)的可能性，信號(hào)才會(huì)連續(xù)可靠，且使昂貴的高頻探針延長壽命。

4.8、雷達(dá)天線市場

      除了量測速度快到每秒GHz的注意事項(xiàng)外，還必須將目標(biāo)物懸空點(diǎn)針，因重心提高，且感知器旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時(shí)，震動(dòng)會(huì)跟著產(chǎn)生，甚至在高處的點(diǎn)針位置有震動(dòng)放大的風(fēng)險(xiǎn)，這個(gè)是高頻點(diǎn)針市場里，在探針座質(zhì)量如精度、穩(wěn)定及耐操性要求更嚴(yán)格。

4.9、光耦合Coupling（非點(diǎn)針的市場）

將探針座上電性量測針桿更換為光纖支架，原有的針座機(jī)構(gòu)保留不變，

也就是光纖發(fā)光及收光的核心對準(zhǔn)的光纖耦合應(yīng)用，高機(jī)械定位精度1 micron步進(jìn)量及直線移動(dòng)的駕馭，將光纖在支架上XY方向的移動(dòng)更順暢細(xì)微，定位之后光纖與元件耦合以1 micron步進(jìn)量做近距離的微細(xì)修正，因?yàn)獒樧慵舜酥g隙*消除，耦合之后不會(huì)有走位風(fēng)險(xiǎn)，可光電傳輸穩(wěn)定、連續(xù)及可靠，也不會(huì)再浪費(fèi)時(shí)間做重復(fù)的定位耦合動(dòng)作。

底座的選擇

磁鐵開關(guān)式E—需要移動(dòng)時(shí)可以將磁鐵關(guān)閉，到定位時(shí)可將磁鐵回復(fù)

五、考慮奕葉磁鐵開關(guān)底座的理由

l 厚度薄

l 吸力強(qiáng)

l 解磁干凈

l 撥桿順暢

l 防銹處理佳，防止手汗造成氧化

l 真空開關(guān)式V—按壓開關(guān)就可以移動(dòng)，到定位之后將開關(guān)釋放