探針座為何要線性移動(dòng)?
奕葉的探針座都是采取線性移動(dòng),針尖可以預(yù)估未來(lái)的軌跡方向. 而非線性移動(dòng)探針座,即使目標(biāo)就在針尖的正前方,必須猜測(cè)針尖的移動(dòng)方向,除了X軸旋鈕的移動(dòng)外還必須隨時(shí)修正為Y軸的旋鈕. Z軸下針線性移動(dòng), X軸及Y軸也必須隨時(shí)備便修正. 下針之后滑針的下壓應(yīng)力與Z軸下降也呈現(xiàn)非線性關(guān)系下壓應(yīng)力無(wú)法有效控制,因?yàn)檫@個(gè)接觸應(yīng)力調(diào)整會(huì)影響到量測(cè)結(jié)果可靠性,再現(xiàn)性及耐久性。
探針座為何要無(wú)間隙(同步)移動(dòng)?
那個(gè)間隙是來(lái)自于螺桿跟螺帽之間的搭配留有多余的空間,會(huì)造成旋鈕移動(dòng)時(shí)針尖會(huì)有停滯的現(xiàn)象,如果一個(gè)軸有間隙,兩個(gè)軸時(shí)會(huì)再放大,三個(gè)軸時(shí)再繼續(xù)放大這個(gè)間隙可以傳到針尖造成晃動(dòng),造成針尖的到儀器的傳遞信號(hào)出現(xiàn)不穩(wěn)定,會(huì)影響到量測(cè)結(jié)果可靠性,再現(xiàn)性及耐久性。
可靠性:讓儀器呈現(xiàn)穩(wěn)定的信號(hào),尤其在高速射頻量測(cè)(GHz), 敏感的有機(jī)薄膜、更小及非平面目標(biāo)。
再現(xiàn)性:量測(cè)信號(hào)由儀器給的來(lái)源信號(hào),在量測(cè)結(jié)果的再現(xiàn)性表現(xiàn)較佳。
耐久性: 長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量它不會(huì)有電信號(hào)斷路的狀況發(fā)生,而造成信號(hào)接觸時(shí)有時(shí)沒(méi)有的困擾。