高低溫探針臺

     中國臺灣奕葉CG-196高低溫探針臺的探針座架設(shè)在真空腔體外側(cè)，在不破壞溫度及真空環(huán)境的情況下，隨著元件的冷縮熱膨，探針座可配合將探針做重復(fù)修改下針. 為消除來自于真空幫浦及地的震動，內(nèi)置主動氣浮式防震桌. 探針座少2 組多8 組，真空10exp-3  Torr 到10exp-6 Torr， 甚至提供腔體正壓到達10atm，超低溫達4度K  ，超高溫達1200°C，除了DC直流pA應(yīng)用之外，RF射頻也能勝任到40GHz.適合感知器，航太及軍事 精密產(chǎn)品電特性分析。

在真空環(huán)境下，探針臺有兩種應(yīng)用：

一、超低溫情況下：

由于晶圓在超低溫情況下進行探測，水氣將會出現(xiàn)并且將會凍結(jié)晶圓。水氣將會影響測量，導(dǎo)致測量失敗。真空倉中的水氣將通過真空泵排出，真空泵必須具備長時間測量的要求。

二、高溫情況下：

       當(dāng)晶圓加熱超過300攝氏度， 400攝氏度， 500攝氏度或者更高溫度時，會發(fā)生很強烈的氧化。溫度越高，越加大硅片表面的氧化，氧化將使晶圓降低電學(xué)性，物理性和機械性。真空倉中的氧氣通過真空泵來排出。真空泵必須能夠保持長時間的測量要求。

由于卡盤將被熱量所控制，應(yīng)用于超低溫和高溫的環(huán)境，在晶圓上探針由于晶圓的收縮和膨脹，將需要一定的改變位置。因此，一些探針將需要通過真空倉之外的探針座的三軸控制旋鈕重新定位。外部的機動探針座可通過拉桿控制系統(tǒng)輕松地重新定位真空倉中的探針。

三、特點：

• 三種溫度范圍可選擇：
  77K—480K  (-196℃—200℃)
  77K—780K  (-196℃—500℃)
  77K—1080K (-196℃—800℃)

• 所有框架采用焊接以堅固的結(jié)構(gòu)

• 通過外置探針座來控制探針重新定位

• 橋型結(jié)構(gòu)顯微鏡以方便打開真空倉

• 顯微鏡可通過鏡臺控制地移動，X-Y軸移動范圍 1英寸—1英寸

• 可升級到6個探針座
  

• 雙屏蔽chuck高低溫時達到10pA精度

• 可選擇防震桌

• 可選擇高真空倉
  

四、規(guī)格：

l 卡盤直徑40mm

l 溫度的精度為0.1度

l 液氮瓶50升

l 探針座X-Y-Z三軸移動范圍：25mmx25mmx25mm，精度10微米

l 顯微鏡X-Y軸移動范圍：1英寸x1英寸

l 連續(xù)變焦：0.8X—5X 

l 目鏡：20X

l 總放大倍數(shù)：16X—100X

l 150W燈源箱

l 雙分支鵝頸管燈源

l 尺寸：1300mm長x1100mm寬x1500mm高

 重量：300Kg

五、操作說明：

l 溫度控制單元：

當(dāng)需要溫度達到室溫以下時，卡盤需要通過液氮來降溫以達到溫度低于事先設(shè)置的溫度。比例積分微（PID）分控制器可以的控制溫度來加熱卡盤中的熱敏器件。

l 液氮單元

氮氣是必須有的，通過氮氣加壓真空瓶來推動液氮的流出，液氮的容量可以通過氮氣的壓強、液氮的進氣閥和出氣閥來控制。

l 真空倉單元

真空倉可通過真空泵產(chǎn)生10-3 托的壓強提供給超低溫的應(yīng)用；

BNC母接頭用來連接探測設(shè)備的信號裝置；

真空泵可提供排氣過濾作用，以避免污染客戶的環(huán)境；

l 探針座單元

所有探針座都在真空倉外設(shè)置，這將幫助工程師在真空組織下進行探測時不用排出真空倉內(nèi)的氣體。特別是，當(dāng)溫度降低的時候，晶圓開始收縮，探針已經(jīng)離開需要探測的測試樣品，工程師需要重新設(shè)置探針，將探針扎到測試樣品上。

l 顯微鏡單元：

顯微鏡可以通過橋梁結(jié)構(gòu)移動到旁邊，以方便打開真空倉的蓋子。顯微鏡可以通過真空倉上面得窗口觀察，

燈光可以通過階梯式旋鈕控制亮度，雙分支鵝頸式光纖引導(dǎo)源可以用于定位及分離目標(biāo)。